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PLASSYS - CVD450 - Halbleiterproduktionsausrüstung
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- Status
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Spezifikationen zum Los
- Menge
- 1
- Differenzbesteuerung
- Nein
- Marke
- PLASSYS
- Typ
- CVD450
- Lieferbedingungen
- Ex Fundament - unverpackt
Beschreibung
Die Ausrüstung umfasst ein vollständiges Vakuum-/CVD-System mit Steuerungselektronik, Vakuumkomponenten, Hochvakuumpumpen, HF-Stromversorgungen, Aktuatoren und Sensoren. Das ursprünglich 1998 hergestellte Fahrgestell wurde 2011 umfassend mit neueren Komponenten modernisiert. Laut den Systemprotokollen wurde er zuletzt 2021 verwendet.
Das System wird wie es ist, für Ersatzteile oder Reparaturen, verkauft, da die Maschine nicht vollständig mit Strom versorgt oder getestet wurde. Nur der elektrische Schrank war eingeschaltet. Das System war nicht vollständig verbunden und hatte kein Passwort, was weitere Tests oder Überprüfung der Einhaltung der Sicherheitsstandards ausschließt.
Das System besteht aus folgenden Hauptkomponenten:
1X ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M
2X Leybold Vacuum CTR 90 CERAVAC (1torr und 10torr)
1X VAT 26432-KA41-0001/0319 Vakuumwinkelventil
1X PFEIFFER IKR 251 HOCHVAKUUM-KOMPAKTE KALTKATHODE
1x breites HI-VAC-Ventil
1X Aktuierungssystem THC-8AWDS Linearer Antrieb 400mm
1x RF-Dressler – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W 13,56 MHz
Steuereinheit
1X ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACT 1300M
1X Magnetronantrieb ADVANCED ENERGY MDX 500 (schaltet sich nicht ein)
1X Cesar-RF-Netzteil
1X MKS, Typ 252, 252C-1-VPO, Auspuffventilsteuerung
1X MKS Typ 152 Automatischer Druckregler
1X 19" Rack-Mount-Computer
Massenflusssteuerungsschrank (enthalten)
(kein Passwort für die Steuerungssoftware) Das Palettieren und Beladen wird vom Käufer vor Ort
durchgeführt
Das System wird wie es ist, für Ersatzteile oder Reparaturen, verkauft, da die Maschine nicht vollständig mit Strom versorgt oder getestet wurde. Nur der elektrische Schrank war eingeschaltet. Das System war nicht vollständig verbunden und hatte kein Passwort, was weitere Tests oder Überprüfung der Einhaltung der Sicherheitsstandards ausschließt.
Das System besteht aus folgenden Hauptkomponenten:
1X ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M
2X Leybold Vacuum CTR 90 CERAVAC (1torr und 10torr)
1X VAT 26432-KA41-0001/0319 Vakuumwinkelventil
1X PFEIFFER IKR 251 HOCHVAKUUM-KOMPAKTE KALTKATHODE
1x breites HI-VAC-Ventil
1X Aktuierungssystem THC-8AWDS Linearer Antrieb 400mm
1x RF-Dressler – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W 13,56 MHz
Steuereinheit
1X ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACT 1300M
1X Magnetronantrieb ADVANCED ENERGY MDX 500 (schaltet sich nicht ein)
1X Cesar-RF-Netzteil
1X MKS, Typ 252, 252C-1-VPO, Auspuffventilsteuerung
1X MKS Typ 152 Automatischer Druckregler
1X 19" Rack-Mount-Computer
Massenflusssteuerungsschrank (enthalten)
(kein Passwort für die Steuerungssoftware) Das Palettieren und Beladen wird vom Käufer vor Ort
durchgeführt
Weitere Details
Die für jede Charge angegebenen Maße und Gewichte werden als Leitfaden angegeben und entsprechen dem aktuellen Zustand der Ausrüstung.
Bestimmte Demontage-, Handhabungs- oder Verpackungsoperationen können diese Daten verändern und die Transportmethoden beeinflussen.
Es liegt in der Verantwortung des Käufers, die erforderlichen Spezifikationen vor jeglichen Transport- oder Abholungsvereinbarungen zu überprüfen.
Abholungen erfolgen nur nach vollständiger Zahlung der Rechnung und nach vorheriger Vereinbarung.
Je nach Charge können Ladehilfen oder spezifische Handhabungsbedingungen angewendet werden.
Bei den Chargen 1 und 2 liegen die Demontage-, Verpackungs- und Palettierungsarbeiten alleinig in der Verantwortung des Käufers.
